plasma technology GmbH

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Reference

References:

Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen                               

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Plasmatechnik                                                            

Schade, Suchanek, Tider, ISBN: 3-341-00834-9, Verlag Berlin

Ätzverfahren für die Mikrotechnik                                                  

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Surfactants, A Partical Handbook                                                  

Lange, K. Robert ISBN: 1-56990-270-4, Carl Hanser Verlag
 

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Handbuch Vakuum Theorie und Praxis                                      

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Plasmabeschichtungsverfahren                                            

Rother/Vetter, ISBN: 3-342-00649-8, Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie